TEM固體加熱加電樣品臺

●TEM固體加熱加電樣品臺適用電鏡FEI、JEOL、Hitachi；

●雙傾設計:α≥25°，β≥25°（具體角度視電鏡極靴型號而定）；

●超薄氮化硅膜視窗(可達10 nm)，可達到皮米級分辨率；

●圖像自動校正系統對目標樣品進行實時鎖定，捕獲反應過程中的關鍵信息，可以快速從大量的數據信息中篩選處理；

●電極數：6電極，可同時進行加熱加電原位實驗；

●高精度、高頻反饋控溫模式，具有實時溫度控制及精確測量功能，內置絕對溫標， 并可軟件自動標定，對任一芯片的每次升溫過程進行自動校正和模擬出最優的升溫曲線，而非統計學的擬合曲線加熱，能更好地反映熱場實情并可自定義程序升溫曲線，設置升溫速度，確保每片芯片每次測量溫度的精確性，不受使用次數的 影響而降低，保證高溫實驗的重復性及可靠性；

●獨特的加熱區域設計方案，溫度均勻性＞99.5%，溫度穩定性≤0.01℃， 溫度精確度>99%；

●TEM固體加熱加電樣品臺溫度范圍RT~1300℃，1300℃持續進行高溫實驗而芯片不破裂，當加熱和電學試驗同時進行時，溫度不高于900℃的情況下依然能進行電學表征；

●升溫快、溫度場和電場穩定且均勻，升溫過程樣品幾乎無漂移；

●電場強度≥400 kV/cm，電壓范圍：±200 V，最小電流檢測10pA。