TEM氣體電-熱樣品臺

TEM氣體電-熱樣品臺是在原位樣品臺內部構建小型的氣氛納米實驗室，在氣體環境內對材料進行原子分辨高時空精度分析。而且可以根據客戶需求結合 MEMS微加工工藝內置加熱模塊、光學模塊和偏壓模塊，通過微納芯片對單個納米結構進行外場控制進行熱學、光學及電學性質的測量。并可在物性測量的同時，動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征。
TEM氣體電-熱樣品臺
●高精度、高頻控溫模式，溫度范圍RT~1000 ℃，溫度穩定性<±0.01 ℃，溫度均勻性＞99.5%；
●電場工作范圍：400 kV/cm；
●電壓工作范圍：±200 V，電流工作范圍：±10 A；
●電流工作范圍：fA~A，檢測電流低至：0.1 pA。

TEM氣體電-熱樣品臺通過電場控制器對樣品施加偏壓，配合電學系統控制程序保證微反應系統穩定可靠運行及實時測量，該控制程序非常適合各種電子器件的電流、電壓特性分析和功能測試， 如：功率半導體材料、功率器件、能源生產、 高效能源消耗等。