原位液體多功能集成樣品臺（光-電-熱）是在原位液體加熱樣品臺的基礎上內置加熱模塊、光學模塊和三電極電學模塊，可在透射電鏡中實現液體樣品的電化學反應/加熱過程/光學反應過程的實時動態高分辨成像。

?SEM液體電化學樣品臺可以同時對四個液體樣品（三個靜態和一個流體）進行觀察，每個樣品都被密封在各自的芯片內， 且互不影響。 芯片與原位透射電子顯微系統類似， 包含上下兩片芯片，通過鍵合內封和環氧樹脂外封與電鏡的真空分隔， 以確保液體無泄漏風險。電極材料可以根據客戶的需求進行定制， 滿足客戶多化需求。

TEM液體加熱樣品臺上的MEMS加熱芯片外接皮安級高精度溫度高頻控制器，精確控制加熱區域溫度及其穩定性，同時在加熱環境中樣品幾乎不漂移，可實現無干擾觀察樣品在反應過程中的變化，極大降低了TEM操作和原位軟件系統的復雜性。

光是光催化化學反應的必要條件，TEM液體光學樣品臺在原位液體樣品桿的基礎上通過光纖引入光源，在液體環境下選擇不同的光源波段和功率以滿足各種實驗需求，可根據用戶需求定制光譜采集及分析系統。

TEM液體電化學樣品臺可以實現在TEM中液體環境下的定量電化學分析和高分辨（原子級）成像。 通過微納芯片對樣品施加電場， 對單個納米結構進行外場控制并進行電學性質測量。并可在物性測量的同時， 動態、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態進行綜合表征，極大地擴展了透射電鏡的功能與應用領域。